前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备———等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称PECVD)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一，其市场需求相当大，所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点，并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般的CVD方法相比既有相同之处，又有它独特的优势。以下将详细介绍PECVD装置的原理、特点、结构参数、性能指标、操作规范和保养维修等。

　　目前太阳能光伏市场上用的PECVD设备，国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式PECVD，接下来就该管式PECVD的工作原理、结构性能参数、操作调试过程和维护保养工作做一个详尽的介绍。图6.1为PECVD的结构示意图。化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应，最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比，具有沉积速度快、膜层质量好等优点，且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高，一般在(900℃～1200℃)之间，被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变，甚至某些相对低熔点的合金基材：如(Al合金)无法涂覆，而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。其化学反应方程式为

　　利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强CVD。电子和离子的密度达109～1012个/cm3，平均电子能量可达1～10eV。成膜过程在线Pa范围内。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其他CVD在700℃～950℃范围内成膜。PECVD成膜均匀，尤其适合大面积沉积。由于在氨气压条件下，提高了活性基团的扩散能力，从而提高薄膜的生长速度一般可达30～300nm/min以上。

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　　募资10亿元！金辰股份加码高效组件、电池自动化生产线日，金辰股份发布公告称，公司非公开发行A股股票募集资金金额不超过100,000万元（含100,000万元），将主要用于“金辰智能制造华东基地项目”及“高效电池片PVD设备产业化项目”，募集资金投资项目主要围绕公司主营业务展开。（一）金辰智能制造华东基地项目公司拟在江苏省苏州市太湖国家旅游度假

　　11月29日，金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。（一）年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”

　　9月23日、24日，2022年光伏新暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行，光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席，产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结

　　2022年，由于光伏技术的逐渐成熟，产品加速从P型向N型的过渡。从光伏技术发展角度来看，TOPCON和异质结是目前热点。业界通常认为：TOPCON是面向过去的技术，表现为和传统电池PERC兼容性较好，兼容PERC设备，设备投资成本也低；异质结面是向未来新技术，效率更高，发电能力更强，未来还可以发展钙钛矿/

　　从金辰股份官微获悉，近日，金辰股份首台套微晶HJTPECVD量产设备成功交付发货。HJT异质结是下一代高效光伏电池技术，PECVD设备又是异质结技术路线年，金辰股份组建团队开始研发HJTPECVD设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台HJTPECVD设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；

　　TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术，2013年由德国Fraunhofer太阳能研究院首次提出。TOPCon电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合。计算表明，TOPCon电池

　　北极星太阳能光伏网获悉，12月29日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）发布公告称，公司拟以上海理想万里晖薄膜设备有限公司(“理想万里晖”)投前估值36亿元为交易价格，以公司自有资金现金方式向理想万里晖投资1亿元人民币，交易价格在评估结果32.99亿元的基础上溢价9.12%，认购理想万里晖新增注册资本424.0028万元人民币，公司持股比例由3.6929%增加至4.7735%。

　　日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用PECVD设备。据介绍，双方团队计划在10层CVD设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究，开发更低成本、更大产能的CVD设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。

　　4月6日，金辰股份发布公告称，中国证监会发行审核委员会当日对公司非公开发行股票申请进行了审核。根据审核结果，公司本次非公开发行股票申请获得通过。据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（HJT）高效电池片用PECVD设备项目及补充流动资金。

　　近日，由福建金石能源有限公司高效太阳电池装备与技术国家工程研究中心、金阳新能源与华侨大学共同研发的首款钙钛矿/混合型BC（HybridBC）四端叠层太阳电池面世。经同一家第三方权威测试机构测试，该款叠层电池顶层钙钛矿电池（电池面积为0.1cm）的转换效率为21.34%，底层混合型BC电池的转换效率为12.6

　　近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所能源材料与器件制造研究部研究员潘旭团队、中国科学技术大学教授肖正国课题组合作，在钙钛矿太阳能电池研究中取得进展，制备出理想带隙为1.33eV的铅锡混合钙钛矿作为太阳能电池吸收层，通过定向锚定策略（STA）对钙钛矿空位缺陷进行精确钝化处理，获

　　4月29日，长征五号B运载火箭在海南文昌航天发射场发射成功，成功将我国空间站工程首个航天器--天和核心舱送入预定轨道，发射任务取得成功。据空间站副总指挥甘克力介绍，在核心舱的研制任务中，中国航天科技集团有限公司第八研究院承担了电源分系统、对接与转位机构分系统、测控通信产品、资源舱结构与总装及电缆网研制任务。其中电源分系统作为整个核心舱任务的四大关键技术之一，充当着未来空间站“太空电站”的作用。

　　目前，钝化发射极和背面电池(PassivatedEmitterandRearCell，PERC)技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC技术是通过在硅片的背面增加一层钝化层(氧化铝或氧化硅)，对硅片起到钝化的作用，可有效提升少子寿命。为了防止钝化层被破坏，影响钝化效果，还会在钝化层外面再镀一

　　2020年9月21日，中国可再生能源学会光伏专业委员会（CPVS）在昆明举行的2020中国可再生能源学术大会暨第二届云南绿色能源国际论坛上发布了2020年太阳电池中国最高效率（CPVSBestResearch-CellEfficiencies）。（来源：微信公众号“中国光伏专委会”）2020太阳电池中国最高效率表*(t),totalarea;(da),de

　　6月23日，我国成功发射北斗系统第55颗导航卫星，这也是北斗三号系统最后一颗全球组网卫星。自此，北斗三号全球卫星导航系统星座部署完成，历时20多年的北斗导航系统建设完美收官。据了解，其中太阳电池阵是卫星的唯一供电能源，蓄电池组是卫星储能装置。（来源：微信公众号“元一能源”）上午9点43分，

　　黑硅PERC多晶太阳电池采用背抛光工艺，其背面刻蚀深度在4.0±0.2μm，在800～1050nm的光学波长范围内，其反射率较常规刻蚀制备的黑硅多晶太阳电池提升了10%左右；采用氧化铝及氮化硅钝化制备的黑硅PERC多晶太阳电池，WT-2000测得其少子寿命达到33μs；开路电压提升了15.2mV，短路电流提高了0.372A，效

　　基于目前主流的常规多晶硅太阳电池生产工艺，对太阳电池在反向偏压下发出可见光的形成原因和发光机理进行了分析验证，结果表明，只有在“扩散”环节前引入金属污染才会导致该类异常电池产生，可见光的发射与局部预击穿及温度的升高有关。（来源：微信公众号“太阳能杂志”ID：tynzz1980）01实验1.1实验

　　南通苏民新能源科技有限公司(NantongSuminRenewableEnergyTechnologyCo.,Ltd.以下简称“苏民新能源”)2019年12月18日发布新闻宣布，公司研发的大面积高效P型多晶PERC太阳电池转换效率达到22.88%，创造了P型多晶PERC电池的世界新纪录。该结果于2019年12月获得中国光伏权威检测机构——国家太阳能光伏产

　　汇全球技术，看光伏未来。2024年2月29日至3月2日，2024第十九届中国（济南）国际太阳能利用大会暨第三届中国（山东）新能源与储能应用博览会在山东国际会展中心隆重举行。格普光能携先进的高效能光伏组件和储能系统亮相，为伙伴们带来了全面的光伏解决方案。全球能源转型发展加速，光伏和储能在新型电

　　2月29日，“2024第十九届中国(济南)国际太阳能利用大会暨第三届中国(山东)新能源与储能应用博览会”于山东国际会展中心开幕。作为亚太地区最具有影响力的分布式能源全产业链行业盛会，本届展会以“金色阳光，清洁能源，双碳引领，携储发展”为主题，吸引了众多头部企业参与。爱旭携最新ABC重磅产品亮相

　　2月29日，以“金色阳光，清洁能源，双碳引领，携储发展”为主题的2024第十九届中国（济南）国际太阳能利用大会在山东国际会展中心盛装启幕，为期三天。海泰新能携户用租赁、多款经典组件、工商业储能等重磅产品亮相CTO3展。